液晶显示器技术及其曝光设备

• 作者: 童志义 葛劢冲
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: LCD器件 LCD市场 LCD生产线 发展趋势 曝光设备
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 73-78
• 页数: 6页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 6755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.02.003

摘要

介绍了LCD器件市场及发展现状、器件类型和生产线概况.根据LCD器件对曝光设备的工艺特点,重点介绍了几种用于LCD制造的曝光设备,结合LCD器件目前的发展趋势,讨论了曝光设备面临的新课题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	童志义		11	139	4.0	11.0
2	葛劢冲		4	7	2.0	2.0