国内外MEMS器件现状及发展趋势

• 作者: 童志义 赵晓东
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 国内外现状 差距 发展趋势 产业化
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 200-206
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 9187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.04.003

摘要

介绍了MEMS器件的发展历史,国内外研究和应用现状,对国内外差距进行了比较,给出了MEMS 器件今后的一些发展趋势.同时,提出了推进MEMS 器件产业化的建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵晓东	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	119	3.0	5.0
2	童志义	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	233	8.0	11.0