电子束投影曝光装置实验结果分析

• 作者: 初明璋 张福安 彭开武 时东霞 顾文琪
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束缩小投影曝光 聚光镜 投影镜 反差
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1528字
• 语种: 中文

摘要

主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	时东霞	中国科学院物理所	23	165	8.0	12.0
2	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0
3	初明璋	中国科学院电工研究所	15	85	6.0	8.0
4	张福安	中国科学院电工研究所	9	10	2.0	2.0
5	彭开武	中国科学院电工研究所	3	3	1.0	1.0