新型光湿敏元件及应用

• 作者: 郭志友
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: MIS结构 光湿敏元件 传感器 相对湿度
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 激光元件与器件
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 分类号: TN24
• 字数: 1235字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2002.06.009

摘要

介绍了利用硅作衬底的陶瓷钛酸镧锶(SrLaTiO3)材料的半导体元件,独特的MIS结构元件,既具有光的特性,又可以测量湿度信号.利用光、湿敏特性元件设计成光、湿敏传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭志友	华南师范大学信息光电子科技学院	34	336	12.0	17.0