电感耦合RF放电等离子体的电流特性

• 作者: 余陨金 奚定平 陈静秋
• 来源期刊: 深圳大学学报(理工版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 电感耦合RF放电等离子体 电流特性 电子速度分布函数 玻尔兹曼方程
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: O534
• 字数: 2459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2618.2002.03.001

摘要

从等离子体波动方程和动力学方程出发,利用解析方法,讨论电感耦合RF放电等离子体的电流特性和衰减机制.发现只有当等离子体波的波速低到与等离子体内能量较高一部分电子轴向运动速度相当时,等离子体和波相互作用才能在衰减机制中居主导地位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余陨金	深圳大学理学院	8	12	3.0	3.0
2	奚定平	深圳大学理学院	9	25	2.0	5.0
3	陈静秋	深圳大学理学院	15	13	2.0	2.0