高精度扩散硅绝对压力计的研制

• 作者: 孙正鼐 张秀珍 马秀娟
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 绝对压力计 高精度 温度补偿
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TH812|TP212
• 字数: 2226字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.06.007

摘要

采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件,研制出高精度绝对压力计,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿.