低温冷凝泵的结构和维护

• 作者: 申强
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 低温冷凝泵 结构 维护 应用
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 新设备·新机构
• 页码范围: 246-248
• 页数: 3页
• 分类号: TN38
• 字数: 2348字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.04.013

摘要

分析了低温冷凝泵的工作原理和内部结构,并结合实际工作经验详细叙述了泵的维护和再生过程以及在电子束蒸发台上的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	申强		4	10	2.0	3.0