缩小投影电子束曝光系统的成像反差

• 作者: 吴桂君 张福安 彭开武 顾文琪
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 缩小投影电子束曝光 照明束 角度限制光阑 反差
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 17-22
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3366字
• 语种: 中文

摘要

结合原理说明了理想条件下的照明束与角度限制光阑可获得最佳成像反差,详细讨论了照明束与角度限制光阑处于非理想情况时对成像反差的影响及理想条件的调试方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭开武	中科院电工所	4	4	1.0	1.0
2	张福安	中科院电工所	3	2	1.0	1.0
3	顾文琪	中科院电工所	4	2	1.0	1.0
4	吴桂君	中科院电工所	2	1	1.0	1.0