Al2O3薄膜的应用与制备

• 作者: 刘忆 刘永杰 董闯 邓新绿
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化铝薄膜 性能 应用 制备方法
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 236-240
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2002.04.011

摘要

Al2O3薄膜因其光学性能优良、机械强度与硬度高、透明性与绝缘性好、耐磨、抗蚀及化学惰性等特点而引起人们的极大兴趣,已经广泛地应用于光学、机械及微电子等领域.简述了Al2O3薄膜的应用及制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓新绿	大连理工大学三束实验室	28	356	9.0	17.0
2	董闯	大连理工大学三束实验室	198	2023	23.0	34.0
3	刘忆	辽宁工程技术大学材料系	25	313	10.0	17.0
4	刘永杰	辽宁工程技术大学材料系	1	41	1.0	1.0