磁过滤的阴极弧等离子体源及其薄膜制备

• 作者: 侯君达 刘志国 张一聪 张涛
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 阴极弧等离子体 扩散 薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 11-15，20
• 页数: 6页
• 分类号: O462.5|O485
• 字数: 4943字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2002.02.004

摘要

采用磁过滤弯管滤除阴极弧等离子体中的大颗粒,研究了偏压和导向磁场对磁过滤弯管传输效率的影响.建立了磁过滤弯管中正交电场和磁场下的等离子体扩散模型,分析各个参数对等离子体传输的作用规律.采用磁过滤的阴极弧等离子体源制备了NbN膜,研究了沉积温度对膜层特性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	北京师范大学低能核物理研究所	129	353	9.0	13.0
2	侯君达	北京师范大学低能核物理研究所	7	50	4.0	7.0
3	刘志国	北京师范大学低能核物理研究所	22	85	6.0	8.0
4	张一聪		1	7	1.0	1.0