准分子激光光束时空积分法能量均匀化的研究

• 作者: 徐华斌 陈抱雪 陈林
• 来源期刊: 上海第二工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光器 能量均匀化 时空积分
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 7-14
• 页数: 8页
• 分类号: TN929.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4543.2002.02.002

摘要

准分子激光在微机械加工、医学、光通讯中具有重要应用.但由于准分子激光固有的特性,其光束能量具有不均匀性,从而准分子激光的应用受到极大制约.本文介绍了一种时空积分均束器系统的设计,并在计算机上模拟分析,得到激光输出光斑(靶面)的中心的能量与边缘的能量相差小于1%的均匀性效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈抱雪	上海理工大学光学与电子信息工程学院	94	435	11.0	16.0
2	徐华斌	上海第二工业大学应用物理系	12	75	6.0	8.0
3	陈林	上海第二工业大学应用物理系	26	143	6.0	11.0