先进制造技术之——IC与MEMS制造技术及其发展趋势

• 作者: 王志越
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: IC 工艺技术 制造设备 MEMS 现状与前景
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 187-195
• 页数: 9页
• 分类号: TN305
• 字数: 13376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.04.001

摘要

概述了集成电路(IC)生产的基本工艺流程及其关键设备的国际国内水平,展望了IC制造工艺设备的发展趋势;同时介绍了微电子机械系统(MEMS)的用途、发展方向及先进的IC制造技术在MEMS生产中应用前景.