最新高功能CVD成膜技术

• 作者: 张玉河 王冰
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 新材料
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4971.2002.03.004

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王冰		41	84	5.0	8.0
2	张玉河		6	9	2.0	3.0