云纹法检测变线距光栅的线密度

• 作者: 付绍军 何世平 徐向东 朱向冰 洪义麟 陈瑾
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 变线距光栅 线密度 云纹
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 285-289
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3450字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.03.013

摘要

变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景,它的制作和检测方法尚未成熟,本文在介绍变线距光栅线密度变化规律的基础上,采用级数形式表达变线距光栅线密度,比较了几种测量方法后,将云纹法引入变线距光栅的检测中,从理论上介绍了几何云纹法和云纹干涉法,几何云纹法适合于线密度很低的光栅,云纹干涉法适合于线密度较高的光栅,云纹的密度反映了光栅的线密度,如果云纹非常密,精确地测量所有云纹的坐标比较难,可以用数云纹数目的方法测出光栅的密度变化,就变线距光栅的检测分别给出了有关理论公式,并给出实际测量中的光路和初步的结果,最后指出这种方法可以用在变线距光栅的加工中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱向冰	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	80	266	8.0	12.0
3	陈瑾	安徽师范大学物理系	31	157	7.0	12.0
4	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
5	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
6	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
7	何世平	中国科学技术大学工程科学学院	36	332	11.0	15.0