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摘要:
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微纳卫星导航通信一体化系统设计与实现
微纳卫星
卫星导航
卫星通信
数据传输
遥测
一体化设计
微纳卫星测控通信统一系统的研究与实现
测控通信统一系统
微纳卫星
统一S波段测控通信系统
CCSDS
虚拟信道
一种用于微纳卫星的丙烷微推进系统
液化气
微推进
丙烷
微纳卫星
单晶硅微构件力学特性片上测试系统
微电子机械系统
单晶硅
片上测试
静电梳状驱动器
疲劳
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用体硅微加工工艺实现的微纳电械系统
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2002,(6) 所属期刊栏目 微纳技术
研究方向 页码范围 608-613
页数 6页 分类号 TN2
字数 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.06.015
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相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
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98767
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