压电式微小驱动器的发展及应用

• 作者: 吴博达 杨志刚 鄂世举
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 微型机电系统 发展 应用
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 447-451
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 3831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2002.06.008

摘要

压电材料的技术进步使压电元件已成为一种新式的驱动元件,受到越来越多的关注.压电驱动器具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单,非常适用于微位移驱动,目前已被广泛地应用于国防、生物医学、光电子等诸多领域.该文介绍了压电驱动器、微型机电系统的概念,并对国内外微机械中压电驱动器的发展及应用近况进行了较详细、全面的介绍,同时对比了国内外在本领域的发展现状及差距.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	吴博达	吉林大学机械工程学院	60	830	17.0	25.0
3	鄂世举	吉林大学机械工程学院	18	333	8.0	18.0