电致伸缩微位移装置的高精度控制方法研究

• 作者: 王立松 苏宝库 董申
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电致伸缩微位移装置 线性化 迟滞 前馈
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 201-203
• 页数: 3页
• 分类号: TP271.4
• 字数: 3692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2002.03.008

摘要

针对电致伸缩微位移装置高精度控制的需求,研究了基于非线性迟滞模型的前馈补偿与反馈技术相结合的控制方法,对电致伸缩微位移装置进行控制,取得良好的控制效果.将其应用于柔性工作台控制系统中, 系统在跟踪正弦曲线时,跟踪误差小于5 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	苏宝库	哈尔滨工业大学控制工程系	119	1431	19.0	30.0