脉冲激光蒸发熔融织构靶制备的YBa2Cu3O7-δ超导薄膜

• 作者: 彭炜 李林 王天生 田永君 胡文斐
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 YBa2Cu3O7-δ薄膜 Y2O3杂相
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 交流论文
• 页码范围: 485-488
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2583字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2002.11.006

摘要

用脉冲激光蒸发熔融织构靶材在SrTiO3(001)单晶基片上制备了YBa2Cu3O7-δ超导薄膜.用X射线衍射仪、透射电镜和原子力显微镜分别对薄膜的微观结构和表面形貌进行了分析.结果表明,薄膜呈c轴取向,薄膜中有一定数量的颗粒状Y2O3杂相,且具有择优取向,而靶材中所含的Y2BaCuO8相却没有在薄膜中形成.沉积温度升高,有利于[001]取向,但不利于[111]取向的Y2O3形成.与传统的粉末烧结靶相比,用熔融织构靶制备YBa2Cu3O7-δ薄膜可以明显抑制薄膜表面颗粒的形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李林	中国科学院物理研究所国家超导实验室	89	1043	18.0	31.0
2	王天生	燕山大学材料科学与工程学院	31	241	9.0	14.0
6	田永君	燕山大学材料科学与工程学院	33	164	7.0	11.0
7	彭炜	中国科学院物理研究所国家超导实验室	4	7	1.0	2.0
8	胡文斐	中国科学院物理研究所国家超导实验室	4	3	1.0	1.0