激光化学气相沉积法制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜

• 作者: 吴慰 张琼 苏轼 赵培
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光化学气相沉积法 YBa2Cu3O7-δ 超导薄膜 显微结构
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 514-523
• 页数: 10页
• 分类号: TM26
• 字数: 7147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2018.05.008

摘要

采用激光化学气相沉积法在(100)取向Al2O3衬底上制备了第二代高温超导YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜,研究了前驱体Y(DPM)3、Ba(DPM)2、Cu(DPM)2的蒸发温度对YBCO薄膜成分的影响规律.通过X射线衍射、扫描电子显微镜、背散射电子显微镜对薄膜进行了表征.结果表明:制备的YBCO薄膜样品成分中含有以下化合物:YBCO、CuYO2、Cu2O、Cu4O3、Y2O3、CuO、CuBaO2、BaY2O4、Ba2Cu3Ox.在激光功率为130 W,沉积温度为1123 K,腔体压强为1 kPa,前驱体蒸发温度分别为TY=453 K、TBa=603 K和TCu=453 K的条件下制得成分较单一的c-轴取向YBCO薄膜.同时结果表明载流气Ar气的流速对薄膜成分存在一定影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张琼	武汉工程大学材料科学与工程学院	5	9	2.0	3.0
2	吴慰	武汉工程大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
3	苏轼	武汉工程大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
4	赵培	武汉工程大学材料科学与工程学院	2	4	2.0	2.0