软X射线投影光刻技术及其发展(续)

• 作者: 曹健林 金春水
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 本刊特约稿
• 页码范围: 3-6
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 4529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2002.06.001

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0
2	曹健林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	328	10.0	17.0