压力传感器的应力计算

• 作者: 周倜 李格 李金华
• 来源期刊: 江苏石油化工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 板壳理论 压力传感器 应力计算
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: O343.9|O484.2
• 字数: 2021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2002.04.015

摘要

从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导.用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0.09%,样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏石油化工学院功能材料实验室	12	208	7.0	12.0
2	周倜	江苏石油化工学院功能材料实验室	1	11	1.0	1.0
3	李格		2	12	1.0	2.0