球形金刚石的形成机制

• 作者: 刘正义 邱万奇 陈剑惠
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石 微晶 二次形核 化学气相沉积法
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 566-569
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2002.03.032

摘要

在p-Si(100)基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜. 用XL30FEG扫描电镜、 X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究, 并对其形成机制进行了分析. 结果表明: 球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致, 球形金刚石由微晶金刚石组成, 晶粒尺寸为70～200?nm; 微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成, 呈无序分布; 球形金刚石薄膜以二次形核方式繁衍生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱万奇	华南理工大学机电工程系	67	339	9.0	15.0
2	刘正义	华南理工大学机电工程系	91	1225	21.0	32.0
3	陈剑惠	华南理工大学机电工程系	3	21	3.0	3.0