AFM Studies of Platinum Silicide Thin Films on Silicon Grown by Pulsed Laser Deposition

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篇名	AFM Studies of Platinum Silicide Thin Films on Silicon Grown by Pulsed Laser Deposition
来源期刊	材料科学技术学报(英文版)	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2002,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	24-26
页数	3页	分类号	TB3
字数		语种	英文
DOI	10.3321/j.issn:1005-0302.2002.01.008

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