多晶体薄膜生长中的织构诱导与控制

• 作者: 刘艳辉 孟亮 张秀娟
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 织构 晶体生长 制备方法
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 4565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2002.10.010

摘要

综述了多晶体薄膜材料织构的诱导和控制方法、影响薄膜结晶过程中晶体取向的因素及不同生长条件下形成晶体择优取向的原因.讨论了目前多晶体薄膜织构控制研究中存在的问题和发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟亮	浙江大学金属材料研究所	74	680	15.0	21.0
2	刘艳辉	浙江大学金属材料研究所	17	117	6.0	10.0
3	张秀娟	浙江大学金属材料研究所	4	25	3.0	4.0