平板显示中MISM多层膜电子发射结构的制作

• 作者: 叶光 林志贤 郭太良
• 来源期刊: 福州大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 场致发射 多层膜 真空溅射 平板显示
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 页码范围: 789-792
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.8
• 字数: 2754字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.2002.06.001

摘要

介绍了一种用于场致发射显示的平面多层膜电子发射结构的制作过程, 采用真空溅射的方法镀制玻璃衬底/Cr-Cu/ Al2O3/ZnS /Ag结构的平面电子源, 对其发射性能进行了论述, 并取得优化发射性能的工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林志贤	福州大学信息科学与技术学院	139	647	13.0	19.0
2	郭太良	福州大学信息科学与技术学院	302	1102	15.0	21.0
3	叶光	福州大学信息科学与技术学院	2	9	2.0	2.0