微机电压力传感器的产业化问题

• 作者: 赵志诚
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电 传感器 产业化
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 5122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2002.09.001

摘要

微机电压力传感器在国外早已实现产业化.国内只有少数企业能够进行小批量生产.工业用的产品大部分依靠进口,或者引进国外芯片和敏感元件进行组装.本文叙述了在微机电压力传感器产业化方面存在的技术和工艺问题,并对产业规模问题进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵志诚		2	33	1.0	2.0