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一种新型微机械红外热探测器的吸收层
红外热探测器
微机械
碳纳米管
双光子聚合3D打印
制造
纳米技术
聚合
3D打印
双光子
微机械红外热电堆探测器
微电子机械系统
红外热电堆
阵列
双光子加工数据准备软件的研究
双光子微细加工
双光子微细光固化成型
数据准备
立体光刻文件
二值图像
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用双光子吸收制作更精细的微机械
来源期刊 激光与光电子学进展 学科
关键词
年,卷(期) 2002,(6) 所属期刊栏目 光电子应用及产业化
研究方向 页码范围 55-56
页数 2页 分类号
字数 1712字 语种 中文
DOI
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期刊影响力
激光与光电子学进展
半月刊
1006-4125
31-1690/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号(上海市800-211信箱)
4-179
1964
chi
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9127
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28
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35767
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