微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS)

• 作者: 周兆英 杨兴 熊继军
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 微米纳米技术
• 年，卷（期）: 2002,（z2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统MEMS
• 页码范围: 913-921
• 页数: 9页
• 分类号: TM93
• 字数: 4529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z2.030

摘要

微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分.MEMS已经在产业化道路上不断发展,NEMS还处于基础研究阶段.本文强调了制造技术是微/纳机电系统发展的基础,在简单地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器系	205	3706	31.0	54.0
2	杨兴	清华大学精密仪器系	15	120	3.0	10.0
3	熊继军	清华大学精密仪器系	8	42	4.0	6.0