平面精密工作台的性能测试和控制

• 作者: 吴鹰飞 周兆英
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 图像处理 精密定位 平面工作台 性能检测
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 测试理论及应用
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TM93
• 字数: 3063字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z1.001

摘要

要实现平面工作台的精密定位,需要对其运动进行检测,并设计相应的控制方案.为同步检测平面工作台三自由度位移,研制了图像处理位移检测系统.以CCD相机为核心结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统.系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响.检测系统既有较高的位移分辨率,又有一定的位移检测范围.使用图像处理位移检测系统,对清华大学制造的平面精密工作台的运动性能进行了测试.工作台干涉运动均小于主运动,通过合理的开环控制对各个运动方向上的干涉运动进行补偿,获得了工作台在平面任意方向上的运动.工作台小范围定位能力的检测表明工作台具有很高的定位分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	吴鹰飞	清华大学精密仪器与机械学系	13	924	9.0	13.0