半导体材料切割过程中的几点静力学特性

• 作者: 王仲康
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 力学模型 微观质量 轴向刚度 挠度方程 TTV值 主切削刃 回力波纹 机械损伤
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2583.2002.06.025

摘要

本文从半导体材料切割过程中刀具刃口的受力特性出发,建立了力学模型,推导出了切片外形特性方程.分析了切割过程中刃口的运行轨迹及加速度曲线.文中结论对于综合控制切片T TV值及切片微观质量具有指导意义.同时,根据切割过程中的本质关系提出了切割设备及其自动跟踪校正系统的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王仲康		2	2	1.0	1.0