强激光辐照下硅基片超薄多层金属镜的热畸变

• 作者: 余文峰 周次明 张耀宁 彭玉峰 李锋 程祖海 陆宇灵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 反射镜 热畸变 激光损伤
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TN243
• 字数: 2924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2002.01.007

摘要

对硅基片超薄多层金属镜在CO2激光辐照下的热特性进行了实验观测与理论分析.给出了超薄多层镜的结构设计方案,以及不同激光功率情况下镜面热变形与激光照射时间的关系曲线.结果表明,当反射镜吸收功率为120 W,光照时间为4 s时,普通硅镜的热变形量为0.71 μm;同等条件下硅基片超薄多层金属镜最大热变形量仅为0.25 μm.理论计算与实验结果基本相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锋	华中科技大学激光技术国家重点实验室	251	1843	20.0	30.0
2	程祖海	华中科技大学激光技术国家重点实验室	97	785	14.0	21.0
3	陆宇灵	华中科技大学激光技术国家重点实验室	4	11	2.0	3.0
4	周次明	华中科技大学激光技术国家重点实验室	12	95	7.0	9.0
5	余文峰	华中科技大学激光技术国家重点实验室	25	142	7.0	10.0
6	张耀宁	华中科技大学激光技术国家重点实验室	17	105	7.0	9.0
7	彭玉峰	华中科技大学激光技术国家重点实验室	9	78	4.0	8.0