MISiC肖特基二极管式气体传感器响应特性分析

• 作者: 于军 徐静平 钟德刚 黎沛涛
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: MISiC气体传感器 肖特基二极管 模拟
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TN311.7|TP212
• 字数: 2225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2002.03.030

摘要

分析了金属-绝缘体-SiC (MISiC) 结构肖特基二极管(SBD)气体传感器敏感机理,通过将热电子发射理论与隧道理论结合,建立了器件物理模型.模拟结果表明,响应特性与金属电极类型、绝缘层厚度、气体吸收效率和温度有关.模拟结果与实验符合较好.通过模拟,得到MISiC结构最佳绝缘层(SiO2)厚度应为1 nm左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐静平	华中科技大学电子科学与技术系	88	358	9.0	13.0
2	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
3	黎沛涛	香港大学电机电子工程系	11	77	5.0	8.0
4	钟德刚	华中科技大学电子科学与技术系	22	118	7.0	10.0