PLD制膜过程中等离子体羽辉演化的模拟

• 作者: 关丽 刘治 张端明 李智华
• 来源期刊: 华中科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 等离子体羽辉 差分模拟 粒子速度 KTN薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 页码范围: 96-97，103
• 页数: 3页
• 分类号: O469
• 字数: 1992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2002.08.033

摘要

在建立脉冲激光沉积综合统一理论模型的基础上,进一步研究了制备KTa0.65Nb0.35O3(KTN)薄膜过程中等离子体的空间演化规律.用有限差分法得到了等离子体的速度在等温阶段和绝热阶段两个阶段的演化规律,并对这两个阶段粒子速度空间演化的物理机制进行了深入讨论,给出了相应演化过程的物理图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李智华	华中科技大学物理系华中科技大学激光技术国家重点实验室	19	171	8.0	12.0
2	张端明	华中科技大学物理系华中科技大学激光技术国家重点实验室	44	322	10.0	16.0
3	关丽	华中科技大学物理系华中科技大学激光技术国家重点实验室	10	194	8.0	10.0
4	刘治	黔西南民族师范专科学校物理系	3	9	2.0	3.0