半导体与微电子技术

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 薄层电阻 微区 斜置 固体电子学 图形的 文中 测试过程 仪器测定
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 页码范围: 22-22
• 页数: 1页
• 分类号: TP274

摘要

【正】 0212667微区薄层电阻四探针测试仪及其应用[刊]/孙以材//固体电子学研究与进展.—2002,22(1).—93～99(D)用斜置的四探针方法,依靠显微镜观察,将针尖置于微区图形的四个角区,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用