双转子平面微电机定子制作工艺研究

• 作者: 吴一辉 宣明 张平 梁静秋 王淑荣 郭占社
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双转子 平面微电机 定子 孔引线 准LIGA技术
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 73-75,80
• 页数: 4页
• 分类号: TM38
• 字数: 948字
• 语种: 中文

摘要

为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机.定子采用平面结构,双面各呈辐射状均布平面线圈,正、反面相对应的线圈由穿过基底的引线相连.采用以准LIGA技术为基础的制作方法.在双面线圈定子制作工艺中,通过设计适当的工艺步骤,并控制甩胶、前烘与曝光条件,在已腐蚀出引线通孔的衬底上完成双面光刻并电铸孔引线的工艺过程.定子直径为23mm,孔引线边长500μm,深约400μm,线圈线宽100μm,高度35μm.装配后的电机测试结果表明电机运行平稳,力矩波动小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	180	2022	23.0	35.0
2	王淑荣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	105	757	15.0	23.0
3	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	126	1121	18.0	27.0
4	梁静秋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	66	389	11.0	17.0
5	郭占社	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	3	33	2.0	3.0