亚原子测量机的进展

• 作者: Hocken Robert J 王春海
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精 控制 磁悬浮 纳米技术
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TH72
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2003.01.001

摘要

为使工程纳米技术成为一个实用学科,需要能在亚原子量级上进行定位与制造的机器.笔者已对它的结构、马达配电原理、干涉技术等细节进行了研究.用网格板对机器进行自标定,设计了一种光学显微镜来探测网格板的特征线.显微镜利用调制发光二极管作为光源,有两个光学成像通道.一个是由双狭缝构成精密测量线条位置,另一个用摄像机直接目视观察.用锁相放大器解调狭缝后的光电二极管电信号.实验表明,网格板线条交点定位检测的重复性标准差约为1 nm.用新开发的一种算法求出了工作台的误差分布图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	Hocken Robert J	美国北卡罗莱纳大学夏洛特分校精密计量中心	1	10	1.0	1.0
2	王春海	美国北卡罗莱纳大学夏洛特分校精密计量中心	1	10	1.0	1.0