薄膜几种重要力学性能的评价

• 作者: 李家宝 覃明 陈昌荣 马素媛
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 屈服强度 加工硬化指数 残余应力 泊松比 杨氏模量
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 441-446
• 页数: 6页
• 分类号: O484.5
• 字数: 4310字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2003.09.001

摘要

提出了一种利用X射线应力分析技术和应变电测法测量附着膜的等效应力--等效单轴应变、屈服强度和加工硬化指数的方法.利用该方法测得一种厚度为2.5μm的TiN膜的条屈服点σ0.1和σ0.2分别等于4.2GPa和4.4GPa,加工硬化指数n为0.36;对于一种厚度为2.4μm的铜膜,得到σ0.1=328MPa,σ0.2=415MPa,n=0.62.利用无应变剥层技术逐层剥离薄膜,同时测量基片曲率半径的变化,由此测得了一种厚度为2.3μm的TiN膜的残余应力沿层深分布.用新建立的一种利用X射线应力分析法测量薄膜泊松比的技术,测出一种TiN膜的泊松比等于0.27.给出了测量陶瓷膜的杨氏模量的设想.