纳米加工技术及其应用

• 作者: 张兰娣 温秀梅
• 来源期刊: 河北建筑工程学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米技术 纳米加工 微型机械 微型机电系统
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TH12
• 字数: 3524字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-4185.2003.03.017

摘要

讨论了纳米加工与常规精加工的区别,介绍了纳米加工的关键技术及其在微型机械和微型机电系统的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温秀梅	河北建筑工程学院计算机系	35	151	6.0	10.0
2	张兰娣	河北建筑工程学院机械工程系	47	143	7.0	9.0