化学溶液法制备PbZr0.5Ti0.5O3/La0.5Sr0.5CoO3铁电多层薄膜的结构和光学性质研究

• 作者: 孙璟兰 孟祥建 王根水 石富文 胡志高 褚君浩 赵强 郭少令
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学溶液法 铁电多层薄膜 椭偏光谱 光学常数谱
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.01.005

摘要

采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜,采用溶胶-凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0.5Ti0.5O3(PZT)铁电薄膜.X-射线测量结果表明在700℃的退火温度下制备的PZT/LSCO铁电多层薄膜呈(110)取向的钙钛矿结构,谢乐公式估算铁电薄膜的晶粒尺寸为50～80nm.原子力显微镜观察结果显示:薄膜表面平整,均方根粗糙度(RMS)小于5nm.用拉曼光谱测量表明PZT薄膜呈拉曼活性.椭圆偏振光谱仪用来表征薄膜在400～1700nm波长范围的光学性质.用洛仑兹模型来描述PZT和LSCO薄膜的光学性质.获得PZT和LSCO薄膜的折射率、消光系数等光学常数谱.