La0.5Sr0.5CoO3薄膜的化学溶液法制备及椭偏光谱研究

• 作者: 于剑 孙景兰 孟祥建 李刚 王根水 褚君浩 赖珍荃 路庆华 郭少令 金承钰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学溶液法 LSCO薄膜 椭偏光谱 光学常数谱
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电子材料制备和检测
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.z1.015

摘要

用化学溶液沉积法在Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO 3(LSCO)导电薄膜.X-射线衍射结果表明退火温度600℃可以使LSCO薄膜晶化,薄膜没 有明显的择优取向并呈单一的钙钛矿相.原子力显微镜研究结果表明LSCO薄膜表面平整、无 裂纹及晶粒尺寸较大.用椭偏光谱仪测量了波长300～1700nm范围内LSCO薄膜的椭偏光谱.用适当的拟合模型进行拟合,获得了LSCO 薄膜的光学常数(包括折射率,消光系数,吸收系数等)谱.