不同衬底温度生长的La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜椭圆偏振光谱研究

• 作者: 朱自强 李亚巍 李文武 胡志高 褚君浩
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积法 La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜 椭偏光谱 光学常数
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 410-413
• 页数: 4页
• 分类号: TN204|TN206
• 字数: 2220字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2009.06.003

摘要

采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同Si(100)衬底温度下制备了La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3(LSCO)导电金属氧化物薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明,随着衬底温度升高LSCO薄膜的结晶质量增加,在650℃和700℃下制备的薄膜是具有单一钙钛矿结构的多晶薄膜.通过椭圆偏振光谱仪测量了400～1100nm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学性质,采用双Lorentz振子色散关系及三相结构模型(Air/LSCO/Si)拟合获得了薄膜的光学常数.结果表明,薄膜的折射率随着衬底温度的升高而减小,然而在可见-近红外波长范围内消光系数随着衬底温度的升高而增大.这主要与薄膜的晶化质量和导电性能有密切的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱自强	华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室	40	272	11.0	13.0
2	李亚巍	华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室	2	2	1.0	1.0
6	褚君浩	华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室	22	27	3.0	4.0
7	李文武	华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0
11	胡志高	华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室	4	5	1.0	2.0