PbZr0.52Ti0.48O3薄膜红外椭圆偏振光谱研究

• 作者: 孟祥建 林铁 王根水 胡志高 褚君浩 赵强 黄志明
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: PbZr0.52Ti0.48O3 椭偏光谱 光学常数 静态电荷
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.01.013

摘要

用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)薄膜.XRD结果表明经过退火后的PZT薄膜呈现多晶结构.通过红外椭圆偏振光谱仪测量了λ为2.5～12.6μm范围内PZT薄膜的椭偏光谱,采用经典色散模型拟合获得PZT薄膜的红外光学常数,同时拟合得到未经处理的PZT薄膜和退火后PZT薄膜的厚度分别为454.2nm和450.3nm.最后通过拟合计算得到结晶PZT薄膜的静态电荷值为|q|=1.769±0.024.这说明在磁控溅射法制备的PZT薄膜中,电荷的转移是不完全的.