不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究

• 作者: 刘健敏 史伟民 夏义本 王林军 苏青峰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 红外椭圆偏振光谱 折射率 消光系数
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 86-89
• 页数: 4页
• 分类号: O433.4|TN213
• 字数: 3437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2006.02.002

摘要

采用红外椭圆偏振光谱仪对HFCVD方法所制备的不同取向金刚石薄膜的光学参数进行了测量.结果表明(001)取向金刚石薄膜具有较佳的光学质量,在红外波段基本是透明的.在2.5～12.5μm红外波长范围内,(001)取向金刚石膜的折射率和消光系数几乎不随波长的改变而变化,折射率为2.391,消光系数在10-5范围内;对于(111)取向金刚石膜,其折射率和消光系数随波长的改变有微小变化,折射率和消光系数都低于(001)取向膜.通过计算拟合得到(001)取向金刚石膜的介电常数为5.83,优于(111)取向膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏义本	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	111	725	13.0	19.0
2	王林军	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	109	441	11.0	14.0
3	史伟民	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	56	313	10.0	14.0
4	刘健敏	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	22	87	5.0	6.0
5	苏青峰	上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系	22	99	5.0	8.0