AlN薄膜的椭圆偏振光谱模型研究

• 作者: 刘达艺 姜伟 康俊勇 李书平
• 来源期刊: 福州大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 色散模型 椭圆偏振光谱仪 AlN 光学常数
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.2007.z1.004

摘要

采用椭圆偏振光谱对MOCVD生长的AlN薄膜在波长430～850 nm的光学参数进行了测量.通过建立不同的物理和色散模型,分别考察了薄膜表面和界面的椭偏效应.拟合结果表明,AlN薄膜的物理模型在引入表面层后,两类色散模型拟合的数据均与椭偏光谱实验数据吻合得很好进一步考虑界面层所拟合的结果显示,界面层对Lorentz色散模型的影响较小,并且,其拟合所得AlN薄膜厚度与扫描电镜所测厚度一致,因此,认为仅含表面层的Lorentz色散模型更简单实用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李书平	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	4	11	2.0	3.0
2	康俊勇	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	4	11	2.0	3.0
3	姜伟	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	2	8	2.0	2.0
4	刘达艺	福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系	3	9	2.0	3.0