GaN折射率的椭圆偏振光谱研究

• 作者: 刘骥 李向阳 连传昕
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化镓 椭圆偏振光谱 折射率 反射光谱
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 262-264
• 页数: 3页
• 分类号: O433.4
• 字数: 2289字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2004.04.005

摘要

利用400～1200nm波段的椭圆偏振光谱对生长在蓝宝石衬底上的非故意掺杂纤锌矿氮化镓(GaN)外延薄膜进行了研究.通过拟合实验数据获得了GaN薄膜的厚度和在可见-近红外区域的折射率色散关系,即n2(λ)=2.262+330.12/((λ/nm)2-265.72).利用这一公式研究了GaN紫外-可见波段的反射光谱,计算得到的GaN薄膜厚度,与椭偏光谱结果一致,两者偏差仅为0.68%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李向阳	中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室	110	438	10.0	14.0
2	刘骥	山东大学信息科学与工程学院	4	21	3.0	4.0
3	连传昕	中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室	1	13	1.0	1.0