液相沉积法制备TiO2薄膜的动力学研究

• 作者: 丁希楼 张国栋
• 来源期刊: 安徽工业大学学报（自然科学版）
• 关键词: 液相沉积法 TiO2薄膜 动力学 模型
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TQ153
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7872.2003.03.006

摘要

对液相沉积法制备 TiO2薄膜的成膜机理进行了探讨,根据成膜机理建立了数学模型,用 Excel规划求解与 VBA编程相结合对动力学常数进行了求解,所得到的动力学参数可靠,模型计算结果与实验结果吻合良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁希楼	安徽工业大学化工与环境学院	22	236	9.0	15.0
2	张国栋	安徽工业大学化工与环境学院	22	231	10.0	15.0