氮直流辉光放电活性粒子(N+,N)的产生率

• 作者: 张连珠
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮直流辉光放电 蒙特卡罗模拟方法 氮活性粒子 产生率
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 113-118
• 页数: 6页
• 分类号: O461.2
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2003.02.009

摘要

在氮直流辉光放电等离子体中采用快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型,模拟研究了e+N2→N+/N+N+2e/e和N+2+N2→N++N+N2过程中粒子(N+,N)产生率的轴向分布随放电参数(工作气压、放电电压和温度)的变化规律.结果表明:两种离解过程中氮活性粒子(N+,N)的产生率都随气压和电压的增加而增大,随放电气体温度的升高而降低;但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近.电压较高时,阴极处的离子N+主要由N+2-N2离解过程产生;电压较低时,N+2-N2离解过程可忽略.中性原子N主要由电子碰撞离解过程产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张连珠	河北师范大学物理系	25	66	4.0	7.0