微机电系统的发展

• 作者: 刘军营 朱向荣 楮金奎 韩光平
• 来源期刊: 山东理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微器件 微结构设计 LIGA
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 107-110
• 页数: 4页
• 分类号: TH16
• 字数: 5063字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6197.2003.01.023

摘要

始于20世纪60年代的微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是21世纪的核心技术之一.介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军营	山东理工大学机械工程学院	46	391	11.0	17.0
5	韩光平		7	105	7.0	7.0
6	楮金奎		3	55	3.0	3.0
7	朱向荣		1	38	1.0	1.0