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一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法
一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法
作者:
常天海
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
基片架
最佳沉积区
试验方法
摘要:
分析了确定基片架上最佳沉积区域的重要性,采用一种简单可行的试验方法,对ZZ-SX500型光学镀膜机的拱型基片架进行了研究,给出了试验方法的理论依据及实际应用结果,并对试验中的关键仪器即MKG-5型光电极值膜厚监控仪进行了可靠性评价试验.
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文献信息
篇名
一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法
来源期刊
真空与低温
学科
工学
关键词
基片架
最佳沉积区
试验方法
年,卷(期)
2003,(4)
所属期刊栏目
研究报告
研究方向
页码范围
217-220
页数
4页
分类号
TK513.2|TB43
字数
2291字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1006-7086.2003.04.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
常天海
华南理工大学电信学院
67
317
10.0
14.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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节点文献
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最佳沉积区
试验方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空与低温
主办单位:
中国航天科技集团公司第五研究院510研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1006-7086
CN:
62-1125/O4
开本:
大16开
出版地:
甘肃省兰州市94信箱
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
1321
总下载数(次)
1
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