一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法

• 作者: 常天海
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 基片架 最佳沉积区 试验方法
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 217-220
• 页数: 4页
• 分类号: TK513.2|TB43
• 字数: 2291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2003.04.007

摘要

分析了确定基片架上最佳沉积区域的重要性,采用一种简单可行的试验方法,对ZZ-SX500型光学镀膜机的拱型基片架进行了研究,给出了试验方法的理论依据及实际应用结果,并对试验中的关键仪器即MKG-5型光电极值膜厚监控仪进行了可靠性评价试验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常天海	华南理工大学电信学院	67	317	10.0	14.0