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摘要:
分析了确定基片架上最佳沉积区域的重要性,采用一种简单可行的试验方法,对ZZ-SX500型光学镀膜机的拱型基片架进行了研究,给出了试验方法的理论依据及实际应用结果,并对试验中的关键仪器即MKG-5型光电极值膜厚监控仪进行了可靠性评价试验.
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文献信息
篇名 一种确定基片架最佳沉积区域的试验方法
来源期刊 真空与低温 学科 工学
关键词 基片架 最佳沉积区 试验方法
年,卷(期) 2003,(4) 所属期刊栏目 研究报告
研究方向 页码范围 217-220
页数 4页 分类号 TK513.2|TB43
字数 2291字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-7086.2003.04.007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 常天海 华南理工大学电信学院 67 317 10.0 14.0
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研究主题发展历程
节点文献
基片架
最佳沉积区
试验方法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空与低温
双月刊
1006-7086
62-1125/O4
大16开
甘肃省兰州市94信箱
1981
chi
出版文献量(篇)
1321
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1
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