抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进

• 作者: 何勇 吴栋 朱日宏 王青 陈磊 高志山
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉术 主动抗振 PZT移相器 时间响应 位移
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 567-571
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.06.005

摘要

结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量.作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器.经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1 000 Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6 μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱日宏	南京理工大学电光学院	129	1152	16.0	28.0
2	何勇	南京理工大学电光学院	131	768	13.0	20.0
3	高志山	南京理工大学电光学院	71	465	12.0	18.0
4	陈磊	南京理工大学电光学院	133	991	16.0	23.0
5	吴栋	南京理工大学电光学院	9	92	7.0	9.0
7	王青	南京理工大学电光学院	39	323	10.0	16.0